Subvención concedida para fortalecimiento de las capacidades, infraestructuras y equipamiento de salas blancas de micro y nanofabricación, en el marco del Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia.
El Real Decreto 714/2024, de 23 de julio, regula la concesión directa de diversas subvenciones para el fortalecimiento de las capacidades, infraestructuras y equipamiento de salas blancas de micro y nanofabricación en el marco del Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia. Con carácter excepcional y por razones de interés público y social autoriza la concesión directa de subvenciones, entre otras, a las siguientes entidades:
• A la Universidad Politécnica de Valencia, para la mejora del equipamiento e infraestructuras del Centro de Tecnología Nanofotónica (NTC)
• A la Universidad Politécnica de Madrid, para la mejora del equipamiento e infraestructuras de la Central de Tecnología del ISOM
El Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia (PRTR) del Gobierno traza la hoja de ruta para la modernización de la economía española, la recuperación del crecimiento económico y la creación de empleo, para la reconstrucción económica sólida, inclusiva y resiliente tras la crisis de la enfermedad del coronavirus (COVID-19), y para responder a los retos de la próxima década. Este plan recibirá la financiación de los fondos NextGeneration EU, entre ellos el Mecanismo de Recuperación y Resiliencia (MRR).
El nuevo Fondo de Recuperación NextGeneration EU tiene como finalidad apoyar las inversiones y las reformas para hacer más resilientes las economías de la Unión Europea (UE) e impulsar el crecimiento sostenible, lo que permitirá a los países de la UE afrontar unos retos que tras la crisis serán aún más críticos. Pero, sobre todo, garantizará que las inversiones y reformas se centren en los desafíos y las necesidades de inversión relacionados con las transiciones ambiental y digital, garantizando así una recuperación sostenible.
El componente 17 del Plan, denominado “Reforma institucional y fortalecimiento de las capacidades del sistema nacional de ciencia, tecnología e innovación”, pretende reformar el Sistema Español de Ciencia, Tecnología y de Innovación (SECTI) para adecuarlo a los estándares internacionales y permitir el desarrollo de
sus capacidades y recursos. Se propone utilizar los recursos públicos para realizar cambios rápidos que adapten y mejoren la eficacia, la coordinación y colaboración y transferencia entre los agentes del SECTI y la atracción del sector privado, con gran impacto en el corto plazo sobre la recuperación económica y social del país.
Para afrontar los retos actuales del ámbito de la micro y nanofabricación, el Centro de Tecnología Nanofotónica de la Universidad Politécnica de Valencia requiere la actualización de equipamiento de micro y nanofabricación, de la línea de montaje y empaquetado y de las capacidades de caracterización de muestras, que supondrá un impulso decisivo en la capacidad de fabricación en materiales y dispositivos fotónicos y en la realización de procesos de micro/nanofabricación en diversos sectores económicos con múltiples aplicaciones.
Las inversiones contempladas en el Plan Estratégico 2021-2024, tienen como uno de sus objetivos fundamentales, ya iniciado en el anterior Plan 2017-2020, el de ampliar la línea de nanofabricación NF-NTC a obleas de 200 mm, de esta forma, se puede garantizar la total compatibilidad con las infraestructuras de micro-nanofabricación líderes Europeas y seguir estrategias alineadas con ellas para participar en los procesos de Oblea MultiProyecto (multi project wafer, MWP), estrategia para proporcionar servicios de (pre-)foundry a usuarios externos. Además, la sala blanca de NF-NTC podrá ofrecer un nuevo servicio bajo el llamado esquema de “creación rápida de prototipos”, requerido principalmente por PYMES y centros de investigación líderes europeos. Para conseguir estos objetivos, se proponen los siguientes tres proyectos para ampliar las capacidades de la sala blanca de NF-NTC en el periodo 2021-2024: • PROYECTO.1: Actualización de equipos de micro y nanofabricación
• PROYECTO.2: Modernización de Línea de Ensamblaje y Empaquetado de chips fotónicos
• PROYECTO.3: Mejora de las capacidades de caracterización de chips fotónicos
En particular, las actividades concretas se dividen en los siguientes proyectos, que se relacionan con las respectivas inversiones previstas en el Plan Estratégico 2021-2024 de la ICTS distribuida MICRONANOFABS como se describe en la siguiente tabla:
Código inversión equivalente en el Plan Estratégico 2021-2024 Nombre proyecto
A NTC-UPV-P1_A Atomic Layer Deposition system (ALD) for Al2O3, TiO2, HfO2 materials
B NTC-UPV-P1_C Ion implantation system for active devices fabrication: Plasma Immerse Ion Implantation equipment (PIII)
C NTC-UPV-P2_B Probe Station: New packaging line capabilities for Electrical characterization upgrade
D NTC-UPV-P2_C Upgrade of the Actual Flip Chip Equipment: Pattern Recognition, Parallelism Control
E NTC-UPV-P3_A New CONFOCAL Microscope system for surface characterization of samples growth by chemical/physical deposition
F NTC-UPV-P3_C Spectroscopic Elipsometer system.
G NTC-UPV-P3_E X-Ray Diffractometer system
H NTC-UPV-P3_F Photoluminescence Spectroscopy System
I NTC-UPV-P3_G RAMAN system upgrade
J NTC-UPV-P3_H Optical &RF response characterization station
K NTC-UPV-P1_E High Temperature 8″ LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition), Oxidation and Annealing Furnace platform
L NTC-UPV-P1_F Upgrade of Molecular Beam Epitaxy system for new epitaxial growth capabilities: Epitaxy of Nitride/Oxide-based materials
M NTC-UPV-P1_G Dedicated services supply and adaptation for each one of the new tools installed