Subvención concedida para fortalecimiento de las capacidades, infraestructuras y equipamiento de salas blancas de micro y nanofabricación, en el marco del Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia.
El Real Decreto 1131/2023, de 19 de diciembre, regula la concesión directa de diversas subvenciones para el fortalecimiento de las capacidades, infraestructuras y equipamiento de salas blancas de micro y nanofabricación en el marco del Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia. Con carácter excepcional y por razones de interés público y social autoriza la concesión directa de subvenciones a las siguientes entidades:
• A la Universidad Politécnica de Valencia, para la mejora del equipamiento e infraestructuras del Centro de Tecnología Nanofotónica (NTC)
• A la Universidad Politécnica de Madrid, para la mejora del equipamiento e infraestructuras de la Central de Tecnología del ISOM
El Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia (en adelante PRTR) del Gobierno traza la hoja de ruta para la modernización de la economía española, la recuperación del crecimiento económico y la creación de empleo, para la reconstrucción económica sólida, inclusiva y resiliente tras la crisis de la COVID-19, y para responder a los retos de la próxima década. Este Plan recibirá la financiación de los fondos Next Generation EU, entre ellos el Mecanismo de Recuperación y Resiliencia.
El nuevo Fondo de Recuperación Next Generation EU tiene como finalidad apoyar las inversiones y las reformas para hacer más resilientes las economías de la UE e impulsar el crecimiento sostenible, lo que permitirá a los países de la UE afrontar unos retos que tras la crisis serán aún más críticos. Pero, sobre todo, garantizará que las inversiones y reformas se centren en los desafíos y las necesidades de inversión relacionados con las transiciones ecológica y digital, garantizando así una recuperación sostenible.
El componente 17 del Plan, denominado “Reforma institucional y fortalecimiento de las capacidades del sistema nacional de ciencia, tecnología e innovación”, pretende reformar el Sistema Español de Ciencia, Tecnología y de Innovación (en adelante, SECTI) para adecuarlo a los estándares internacionales y permitir el desarrollo de sus capacidades y recursos. Se propone utilizar los recursos públicos para realizar cambios rápidos que adapten y mejoren la eficacia, la coordinación y colaboración y transferencia entre los agentes del SECTI y la atracción del sector
privado, con gran impacto en el corto plazo sobre la recuperación económica y social del país.
Para afrontar los retos actuales del ámbito de la micro y nanofabricación, el Centro de Tecnología Nanofotónica de la Universidad Politécnica de Valencia requiere la actualización de equipamiento de micro y nanofabricación, de la línea de montaje y empaquetado y de las capacidades de caracterización de muestras, que supondrá un impulso decisivo en la capacidad de fabricación en materiales y dispositivos fotónicos y en la realización de procesos de micro/nanofabricación en diversos sectores económicos con múltiples aplicaciones. Las inversiones contempladas en el Plan Estratégico 2021-2024, tienen como uno de sus objetivos fundamentales, ya iniciado en el anterior Plan 2017-2020, el de ampliar la línea de nanofabricación NF-NTC a obleas de 200 mm, de esta forma, se puede garantizar la total compatibilidad con las infraestructuras de micro-nanofabricación líderes Europeas y seguir estrategias alineadas con ellas para participar en los procesos de Oblea MultiProyecto (multi project wafer, MWP), estrategia para proporcionar servicios de (pre-)foundry a usuarios externos. Además, la sala blanca de NF-NTC podrá ofrecer un nuevo servicio bajo el llamado esquema de “creación rápida de prototipos”, requerido principalmente por PYMES y centros de investigación líderes europeos. Para conseguir estos objetivos, se proponen los siguientes tres proyectos para ampliar las capacidades de la sala blanca de NF-NTC en el periodo 2021-2024: • PROYECTO.1: Actualización de equipos de micro y nanofabricación
• PROYECTO.2: Modernización de Línea de Ensamblaje y Empaquetado de chips fotónicos
• PROYECTO.3: Mejora de las capacidades de caracterización de chips fotónicos En particular, las actividades concretas se dividen en dos proyectos, que se relacionan con las respectivas inversiones previstas en el Plan Estratégico 2021-2024 de la ICTS distribuida MICRONANOFABS como se describe en la siguiente tabla:
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Código inversión equivalente en el Plan Estratégico 2021-2024:
A NTC-UPV-P1_D Equipo químico mecánico de Pulido/planarización (CMP)
B NTC-UPV-P3_B Microscopio electrónico de barrido de emisión de campo de alta resolución EVA